توفر هذه المواصفة القياسية الدولية الإرشادات حول التحليل الكمي عند نقاط أو أماكن محددة من العينات باستخدام المقياس الطيفي للطاقة المتشتتة (EDS) الملائمة للمجهر الإلكتروني الماسح (SEM) المسبار الإلكتروني للمحلل المجهري (EPMA)؛ أي تعبير عن الحجم، أي وفقًا للنسبة (نسبة كتلية)، كالأحجام الكبيرة/الصغيرة أو الأكبر/الأصغر التي تعتبر نسبة كمية. ويعد التعريف الصحيح للعناصر الموجودة في العينات جزءًا ضروريًا من التحليل الكمي ولذلك يؤخذ بعين الاعتبار في هذه المواصفة القياسية الدولية. وتوفر هذه المواصفة القياسية الدولية إرشادات حول المنهجيات المختلفة والتي تسري على التحليل الكمي الروتيني للنسب الكتلية الأقل من 1%، التي تستخدم سواء المواد المرجعية أو الإجراءات "غير القياسية". ويمكن استخدامها بثقة مع العناصر ذات العدد الذري Z < 10. وتوضح هذه المواصفة القياسية الدولية إرشادات حول تحليل العناصر الخفيفة ذات العدد الذري > 11. ملاحظة: تعد النسب الكتلية الأقل من 0,1 % قابلة للقياس عندما لا يكون هناك تداخل في الذروة وعندما يُستثار الخط الخصائصي ذو الصلة بصورة قوية. وتسري هذه المواصفة القياسية الدولية مبدئيًا على التحليل الكمي على سطح العينة المصقول المسطح. وتسري أيضًا الإجراءات الأساسية على تحليل العينات التي لا تحمل سطحًا مصقولاً ولكن سيتم إدخال مركبات لايقينية إضافية. وليس هناك طريقة مقبولة من أجل إجراء التحليل الكمي الدقيق EDS للعناصر الخفيفة. ومع ذلك، توجد عدة طرق من EDS: وهي كالتالي: أ) قياس أماكن الذروة والمقارنة بين حالات الشدة بنفس طريقة العناصر الثقيلة. وللأسباب الموضحة في الملحق د، ستصبح حالة اللايقين والأخطاء المرتبطة بنتائج العناصر الخفيفة أكبر من العناصر الثقيلة. ب) حيث تعرف العناصر الخفيفة باتحاد عناصرها مع العناصر الثقيلة (Z < 10) في العينات، ويمكن تقدير التركيز بجمع الخواص المناسبة للتركيزات المتعلقة بالعناصر الأخرى. وعادة ما تُستخدم لتحليل الأكسجين في عينات معادن السليكات. ج) حساب التركيز بالفرق حيث تكون نسبة العناصر الخفيفة مساوية ل 100% ناقص مجموع نسبة العناصر التحليلية. وتعد هذه الطريقة ممكنة مع استقرار تيار الحزمة الجيد وقياس الفصل المتعلق بعينة مرجعية واحدة على الاقل وتتطلب تحليلاً دقيقًا للعناصر الأخرى في العينات. ويلخص الملحق د المشكلات الخاصة بتحليل العناصر الخفيفة، إضافة إلى العناصر الموجودة في التحليل الكمي المتعلق بالعناصر الثقيلة. وإذا توفرت كل من المقياس الطيفي EDS والمقياس الطيفي للطول الموجي (WDS)، وبالتالي يمكن استخدام WDS للتغلب على مشكلات تداخل الذروة التي تحدث في EDS عند الطاقات المنخفضة. ومع ذلك، تعد العديد من المسائل الأخرى شائعة بالنسبة للتقنيتين.